2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスターセッション(コアタイム)

[3P01-27] ポスター・企業展示

2021年11月5日(金) 13:30 〜 15:30 P会場 (P会場)

座長
13:30-14:30 一ノ倉聖(東工大)
14:30-15:30 土師将裕(東大)

[3P20] 回折格子を用いた走査電子顕微鏡による電磁場計測

*原田 研1、嶌田 惠子1、高橋 由夫2 (1. 理化学研究所、2. 日立製作所)

走査電子顕微鏡(SEM)を用いて空間電磁場の計測を実施した。