[3P01-27] ポスター・企業展示

[3P21] 偏向電極によるFIM-Poschenrieder-Atom ProbeでのFIM-AP交互測定

*谷口 昌宏¹ (1. 金沢工業大学)

FIM-APではFIM観察用の蛍光スクリーンの中央にToF質量分析器への通路が開けられており、そこを通過する電界蒸発イオンが質量分析される。 そのため試料のAP分析領域がFIM像では死角になることが欠点であった。今回、偏向電極を設置することでFIMの観察領域とAPの分析領域を一致させ、FIMを観察しながらAP分析を行なえるように装置改良を行なったので報告したい。