[3P01-27] ポスター・企業展示

[3P22] Mg-CF₄およびMg-O₂直流反応性スパッタリング放電の特性

*滝澤 貴之¹、草野 英二¹ (1. 金沢工業大学)

プローブ法によりMg–CF₄およびMg–O₂反応性スパッタリング直流放電の特性を解析した．Mg–CF₄放電においてはプラズマ電位が接地電位に対して負となり，Mg–O₂放電においてはプラズマ電位が接地電位と同程度となった．放電の特性は負イオンあるいは電子によるプラズマ–接地電極間の電流維持機構により説明される．電気陰性放電の特性が，Mg–CF₄とMg–O₂放電とを比較することにより明確となった．