日本機械学会関西支部 2021年度関西学生会卒業研究発表講演会/第97期定時総会講演会

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Symposium for undergraduate students

SS3　設計・生産・計測制御

Tue. Mar 15, 2022 1:15 PM - 2:30 PM 第13室 (オンライン)

座長:大塚 雄貴(関西大学)

2:15 PM - 2:30 PM

[11335] 二次元光スピンホール効果エリプソメトリを用いた表面粗さ計測の空間分解能の向上

*玉田 智也1、水谷 康弘1、上野原 努1、高谷 裕浩1 (1. 大阪大学)

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