日本機械学会関西支部 2021年度関西学生会卒業研究発表講演会/第97期定時総会講演会

講演情報

関西学生会2021年度学生員卒業研究発表講演会

SS3 設計・生産・計測制御

2022年3月15日(火) 09:30 〜 10:45 第14室 (オンライン)

座長:塩田 篤(京都工芸繊維大学)

09:30 〜 09:45

[11411] CMP研磨パッドにおける幾何学的・化学的特性の研究

*伊藤 琢朗1、藤田 隆1 (1. 近畿大学)

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