日本機械学会関西支部 2022年度関西学生会卒業研究発表講演会/第98期定時総会講演会

講演情報

関西支部第98期定時総会講演会 研究討論セッション » GS6 熱工学

熱工学(2)

2023年3月16日(木) 11:00 〜 12:00 第6室

座長:澤田 晋也(阪大)

11:40 〜 12:00

[20607] 半導体洗浄プロセスの熱流体現象に対する分子動力学解析手法の開発と展開[支部賞受賞記念講演]

*内田 翔太1、藤原 邦夫2、芝原 正彦2 (1. 株式会社SCREENホールディングス、2. 大阪大学)

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