[D-21-P] D: レーザープロセシング

[D-21-P-02] 【優秀ポスター発表賞応募演題】
グリオキシル酸Co/Ni錯体溶液のグリーンフェムト秒レーザー還元直接描画特性評価と微細パターン作製

○中谷 光¹、水澤 夏紀¹、植月 暁²、大石 知司²、溝尻 瑞枝¹ (1. 長岡技術科学大学、2. 芝浦工業大学)