講演情報

口頭講演

D: レーザープロセシング

[D06-21p-V] 微細加工

2020年1月21日(火) 15:00 〜 17:30 第V会場 (展示棟)

座長:寺川光洋(慶應義塾大学理工学部電子工学科)、宇野和行(山梨大学)

15:45 〜 16:00

[D06-21p-V-03] 【論文発表賞応募演題】
F₂レーザーを用いたポリカーボネート上におけるAl薄膜のパターニング

○吉田剛¹、野尻秀智²、大越昌幸¹ (1. 防衛大学校、2. （株）レニアス)

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