[D06-21p-V] 微細加工

[D06-21p-V-07] 【論文発表賞応募演題】
中赤外自由電子レーザーを用いた各種半導体材料における超微細ＬＩＰＳＳ形成閾値の比較

○Yohei Tanaka^1,2, Chikai Hosokawa^1,2, Masaki Hashida^1,2, Heishun Zen³, Takeshi Nagashima⁴, Norimasasa Ozaki⁵, Shunsuke Inoue^1,2, Shuji Sakabe^1,2 (1. ICR, Kyoto University, 2. GSS, Kyoto University, 3. IAE, Kyoto University, 4. Setsunan University, 5. Osaka University)