[D06-21p-V] 微細加工

[D06-21p-V-07] 【論文発表賞応募演題】
中赤外自由電子レーザーを用いた各種半導体材料における超微細ＬＩＰＳＳ形成閾値の比較

○田中 陽平^1,2、細川 誓^1,2、橋田 昌樹^1,2、全 炳俊³、長島 健⁴、尾崎 典雅⁵、井上 峻介^1,2、阪部 周二^1,2 (1. 京都大学化学研究所、2. 京都大学大学院理学研究科、3. 京都大学エネルギー理工学研究所、4. 摂南大学理工学部基礎理工学機構、5. 大阪大学大学院工学研究科)