[F-22-P] F: 光機能材料・デバイス

[F-22-P-04] 水素アニールによるシリコン細線導波路の低損失化に向けて

○土師 康平¹、石川 巧¹、菊地 涼¹、金森 義明¹、枝松 圭一²、山田 博仁¹、松田 信幸¹ (1. 東北大院工、2. 東北大通研)