一般社団法人レーザー学会学術講演会第41回年次大会

講演情報

口頭講演

D: レーザープロセシング

[D04-19p-IV] レーザー基礎・新技術

2021年1月19日(火) 15:15 〜 17:35 IV

座長:池上 浩(九州大学)

17:00 〜 17:15

[D04-19p-IV-06] レーザープラズマ3nm軟X線による半導体リソグラフィーの検討

*天野 壮1 (1. 兵庫県立大学)

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