[D11-20a-VII] Surface modification

[D11-20a-VII-02] 強度分布を有するエキシマレーザーアニール法を用いた高性能薄膜トランジスタの製作と評価

*Shu Nishida¹, Toru okatsugi¹, Keita Katayama¹, Daisuke Nakamura¹, Tetsuya Goto³, Hiroshi Ikenoue^1,2 (1. kyushu University, 2. Department of Gigaphoton Next GLP Kyushu University, 3. New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University)