湿式素材プロセッシング（1）

[PY-73] Study on Invar type Fe - Ni Alloy by Electorodeposition Method

○Shota Emoto¹, Yuki Kashiwa¹, Sigeo Kobayashi¹, Keisuke Fukuda², Satoshi Oue², Hiroaki Nakano² (1. Kyushu Sangyo University Faculty of Life Sciences Department of Life Sciences, 2. Kyushu University Department of Materials Science & Engineering)

Keywords:Fe-Ni, Invar Alloy, Electorodeposition Method, Sulfamic Acid

インバー型Fe-Ni合金は，室温付近の熱膨張係数がFe-Ni合金中で最も小さいため，光学機器，電子通信機器，シャドーマスク等の精密機器材料として，多くの用途に利用されている。電析法によるFe-Ni合金の作製には，基板の選定が必要不可欠であるが，溶解鋳造等と違い複雑な面や極小部位での形成が可能であり，膜形成速度が速く，低温作業であるため消費エネルギーが低いといった大量生産に適した特徴を持っている。しかし，水溶液からのFe-Ni合金電析は，卑なFeの優先析出が変則型共析の挙動を示すため，一定の組成を持つ合金を安定して得ることが困難である。本研究では，硫酸浴，ワット型ベース浴およびスルファミン酸浴を基本浴として，浴組成，添加剤，電流密度等の電解条件，電析合金組成，カソード分極，表面形態および電析合金の内部応力に及ぼす影響について検討した結果を報告する。