Interface chemistry and electric properties of 4H-SiC/SiO<sub>2</sub> and the influence of annealing atmospheres

講演情報

Oral Session

D. Frontiers of Advanced Electronic Materials » [D-5] Properties and Characterizations of Functional Surfaces and Interfaces

[D5-O9] Slot 09

2021年12月16日(木) 13:30 〜 15:30 Room O (G316)

Chair: Shigenori Ueda (National Institute for Materials Science), Yutaka Majima (Tokyo Institute of Technology)

14:30 〜 14:45

*Anna Regoutz¹ (1. University College London (UK))

キーワード：power electronics, silicon carbide, X-ray photoelectron spectroscopy, buried interfaces

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