Microstamp Transfer Patterning of Organic Single-Crystalline Wafers for CMOS Integrated Circuits

Hiroto Usui

18:30 〜 20:00

[D6-PV21-03] Microstamp Transfer Patterning of Organic Single-Crystalline Wafers for CMOS Integrated Circuits

*Hiroto Usui¹, Tatsuyuki Makita², Mari Sasaki¹, Toshihiro Okamoto^1,3, Shun Watanabe^1,3, Junichi Takeya^2,1,3,4 (1. Tokyo Univ. (Japan), 2. PI-CRYSTAL INC. (Japan), 3. OPERANDO-OIL (Japan), 4. NIMS (Japan))

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講演情報

[D6-PV21] Slot 21

[D6-PV21-03] Microstamp Transfer Patterning of Organic Single-Crystalline Wafers for CMOS Integrated Circuits