Thermal desorption spectroscopy (TDS) for quantitative analysis of low hydrogen concentration in thin-film samples

16:00 〜 18:00

[E5-PR14-12] Thermal desorption spectroscopy (TDS) for quantitative analysis of low hydrogen concentration in thin-film samples

*Hidenori Hiramatsu¹, Taku Hanna¹, Isao Sakaguchi², Hideo Hosono¹ (1. Tokyo Inst. Tech. (Japan), 2. NIMS (Japan))

キーワード：hydrogen, TDS, Q-Mass, detection limit

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