Fabrication of AZO Thin Films by Facing Targets Sputtering System with Various Sputtering Conditions

18:30 〜 20:30

[H1-PR18-26] Fabrication of AZO Thin Films by Facing Targets Sputtering System with Various Sputtering Conditions

*SangBin Park¹, MoonYoung Lee¹, KyungHwan Kim¹, JeongSoo Hong¹ (1. Gachon Univ. (Korea))

キーワード：AZO, Thin film, Sputtering

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