Measurements of Radial and Vertical Electric Field in Capacitively Coupled Plasma

Yang Tao

講演情報

Poster Session

H. Innovative Materials Processing for Sustainable Society » [H-2] Plasma-Based Synthesis, Processing and Characterization of Materials for Energy and Environment

[H2-PV23] Slot 23

2021年12月14日(火) 18:30 〜 20:00 H2-PV23 (online)

18:30 〜 20:00

[H2-PV23-18] Measurements of Radial and Vertical Electric Field in Capacitively Coupled Plasma

*Yang Tao¹, Daiki Nagamatsu¹, Kunihiro Kamataki¹, Daisuke Yamashita¹, Takamasa Okumura¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,2, Masaharu Shiratani¹ (1. Kyushu Univ. (Japan), 2. NINS. (Japan))

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