MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

A. Fundamentals » [A-5] Advanced Algorithms and Tools for Materials Informatics

[A5-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[A5-P501-07] Molecular Dynamics Study on HF Etching of amorphous Si3N4 with Neural Network Potential

*Changho Hong1, Sangmin Oh1, Seungwu Han1 (1. Seoul National Univ. (Korea))

キーワード:Neural network potential, Surface-plasma interaction, Chemical sputtering, DFT

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