Sterilization Effect of Ozone on Rinsing Water for Plating Process

Akihiro Shimizu

講演情報

Oral Session

C. Environment » [C-4] Advanced Water Treatment and Materials for SDGs

[C4-O203] Oral 203

2023年12月12日(火) 16:30 〜 18:30 Session 3 (Room157)

Chair: Isao Shitanda (Tokyo University of Science), Shu-hei Urashima (Tokyo University of Science), Masahiro Kunimoto (Univ. of Yamanashi)

17:30 〜 17:45

[C4-O203-05] Sterilization Effect of Ozone on Rinsing Water for Plating Process

*Akihiro Shimizu¹, Makoto Jinsenji¹, Chisa Fukuda¹, Yoshiyuki Nishimura¹, Hibiki Nawai², Natsuki Uchida², Shiro Yamauchi^1,3, Osamu Takai³ (1. OM Sangyo Co. , Ltd. (Japan), 2. OM Kiki Co. , Ltd. (Japan), 3. Materials & Surface Engineering Research Institute, Kanto Gakuin University (Japan))

キーワード：Plating, Rinsing water, Ozone, Sterilizing

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン