Electrical property improvement of Pt-free TiO<sub>x</sub>-based ReRAM devices using ultrathin SiO<sub>x</sub> interlayers

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2023年12月12日(火) 18:30 〜 20:30 Poster (Annex)

*Haruki Osawa¹, Yuji Iwasawa¹, Aikawa Shinya¹ (1. Kogakuin Univ. (Japan))

キーワード：ReRAM, TiOx, SiOx, Interlayer

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