Polishing and etching damages of hydrothermally grown ZnO single crystals studied using time-resolved photoluminescence spectroscopy

講演情報

Oral Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-O402] Oral 402

2023年12月14日(木) 14:00 〜 16:15 Session 11 (Room B-2)

Chair: Tetsuya Yamamoto (Kochi University of Technology), Toshihiko Maemoto (Osaka Institute of Technology)

15:45 〜 16:00

*Kohei Shima¹, Takumi Kasuya¹, Shigefusa F Chichibu¹ (1. Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University (Japan))

キーワード：ZnO, Chemo-mechanical polishing, Wet etching, Reactive ion etching, Time-resolved PL

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