MRM2023/IUMRS-ICA2023

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Oral Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-O403] Oral 403

2023年12月14日(木) 16:30 〜 18:30 Session 11 (Room B-2)

Chair: Katsuhisa Tanaka (Kyoto University), Andreas Klein (Technical University of Darmstadt)

17:00 〜 17:15

[D1-O403-02] Size Effects and Carrier Transport in Highly Conductive W-Doped In2O3 Films with Thicknesses Ranging from 5 to 50 nm

*Tetsuya Yamamoto1, Rajasekaran Palani1, Hisao Makino1 (1. Kochi Univ. of Tech. (Japan))

キーワード：In2O3, W, Carrier Transport, Size Effect, Solid Phase Crystallization

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