High-Performance a-ITZO TFTs with High Bias Stability Enabled by Self-Aligned Passivation using a-GaO<sub>x</sub>

講演情報

Oral Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-O403] Oral 403

2023年12月14日(木) 16:30 〜 18:30 Session 11 (Room B-2)

Chair: Katsuhisa Tanaka (Kyoto University), Andreas Klein (Technical University of Darmstadt)

18:15 〜 18:30

*Yuhao Shi¹, Junghwan Kim^1,2, Hideo Hosono¹ (1. Tokyo Inst. of Tech. (Japan), 2. Ulsan National Inst. of Sci. & Tech. (Korea))

キーワード：Amorphous oxide semiconductors, Gallium oxide, Thin-film transistors, Bias stability, Self-aligned passivation

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン