MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

印刷

Poster Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G1-P501-11] Multi-Purpose Plasma Monitoring by Sensor Devices Connected with Wireless Communication

*Osamu Sakai1, Yohei Sanami1, Kota Hamano1, Yuji Kasashima2, Tatsuo Tabaru2 (1. Univ. Shiga Pref. (Japan), 2. AIST (Japan))

キーワード：Plasma Processing, Sensor, Wireless communication

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン