MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-4] Advanced smart processing

[G4-P401] Poster 401

2023年12月14日(木) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G4-P401-01] High-Speed Continuous Wave Laser Annealing: Non-equilibrium growth of Highly-Strained Germanium-Based Materials

*Ryo Matsumura1, Rahmat Hadi Saputro1,2, Naoki Fukata1,2 (1. NIMS (Japan), 2. Univ. of Tsukuba (Japan))

キーワード:Laser Annealing, Germanium, Thin film

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