MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-4] Advanced smart processing

[G4-P401] Poster 401

2023年12月14日(木) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G4-P401-13] Fabrication of uniaxially oriented β-Ga2O3 thin films on flexible polymer substrates by UV laser annealing at room temperature

*Ryoya Kai1, Tomoaki Oga1, Satoru Kaneko1,2, Mamoru Yoshimoto1, Akifumi Matsuda1 (1. Tokyo Inst. of Tech. (Japan), 2. Kanagawa Inst. of Indus. Sci. and Tech. (Japan))

キーワード:Wide-bandgap semiconductor, Gallium oxide, Excimer laser annealing

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