MRM2023/IUMRS-ICA2023

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Poster Session

S. Co-Sponsored Topics » [S-2] 9th International Symposium on Transparent Conductive Materials & 13th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TCM-TOEO 2023)

[S2-P304] Poster 304

2023年12月13日(水) 18:30 〜 20:30 Poster (Annex)

[S2-P304-10] Gas sensing properties of WO3 films deposited by reactive rf sputtering

*Keita Yoshida1, Makoto Kashiwagi1, Yuki Oguchi1, Akira Nakamura2, Yuzo Shigesato1 (1. Aoyama Gakuin Univ. (Japan), 2. Minebea Mitsumi Inc. (Japan))

キーワード：WO3 film, gas sensor, ethanol gas sensing, acetone gas sensing, reactive rf sputtering

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