マイクロ流体(1)

[A9-04] 基板上の液膜に広がる液液流れの数値解析

*橋本 駿佑¹、須内 啓太¹、髙畑 凜太郎¹、宗像 瑞恵¹、吉川 浩行¹、村松 誠²、寺田 正一²、上塘 真吾²、竹下 和宏²、後藤 一幸² (1. 熊本大学、2. 東京エレクトロン九州)

キーワード：スピンコーティング、液膜流れ、数値解析、VOF法、多相流