セッション情報

OPTM2020

Oral Presentation

Session 1

2020年4月21日(火) 13:00 〜 14:50 211 (Conference Center)

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13:00 〜 13:10

[OPTM-OP] Opening Remarks

13:10 〜 13:50

[OPTM1-01] Annular subaperture stitching interferometry with planar reference wavefront for measurement of spherical and aspherical surfaces

*Markus Schake¹, Gerd Ehret¹ (1. Physikalisch Technische Bundesanstalt)

13:50 〜 14:30

[OPTM1-02(Invited)] Nano Optical Measurement for Next-Generation Nano/Micro Manufacturing based on Localized Light Energy Control

*Satoru Takahashi¹ (1. The University of Tokyo)

14:30 〜 14:50

[OPTM1-03] Displacement measuring interferometer using sinusoidal frequency modulation and phase-locked loop on arbitral modulation index

*Masato Higuchi¹, Dong Wei¹, Masato Aketagawa¹ (1. Nagaoka University of Technology)

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