PECS-XIII

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Poster Session

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2023年3月30日(木) 13:30 〜 15:30 Kanda-Myoujin Hall (1F)

[P-44] High NA, Low Profile Prism Lens for Beam Collimation in Si Photonic Crystal SLG Beam Scanner

Kohei Yamamoto Yamamoto1, *Kohei Yamamoto Yamamoto1, Mikiya Kamata Kamata1, Ryo Tetsuya Tetsuya1, Toshihiko Baba Baba1 (1. Yokohama National University)

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