Plasma Conference 2017

講演情報

ポスター発表

[21P] ポスター1

2017年11月21日(火) 13:30 〜 15:30 ポスター会場 (1F 展示場)

13:30 〜 15:30

[21P-70] RF駆動型マグネトロンスパッタ型イオン源から引き出される金属イオンビームへのメモリー効果

*小間 浩嗣1、吉岡 健太郎2、剣持 貴弘3、和田 元2 (1. 同志社大理工、2. 同志社大院理工、3. 同志社大生命医科学)

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