講演情報

ポスター発表

[21P] ポスター1

2017年11月21日(火) 13:30 〜 15:30 ポスター会場 (1F 展示場)

13:30 〜 15:30

[21P-86] BN成膜の為の窒素プラズマ源開発

*小口治久¹ (1. 産総研電子光技術)

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