Plasma Conference 2017

講演情報

ポスター発表

[22P] ポスター2

2017年11月22日(水) 16:45 〜 18:45 ポスター会場 (1F 展示場)

16:45 〜 18:45

[22P-137] 基板温度制御によるa-Si:H薄膜のSiネットワーク秩序性の向上

*田中 和真1、小島 尚1、都甲 将1、山下 大輔1、徐 鉉雄1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1. 九大シス情 )

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