Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[23Dp] セッション19 非中性・成膜

2017年11月23日(木) 16:15 〜 18:55 D会場 (5F 503)

座長:山田 英明(産総研)

16:15 〜 16:45

[23Dp-01] 異なる流体運動を行うイオンプラズマと電子プラズマを用いた2流体プラズマ系の実験的開拓

*比村 治彦1 (1. 京都工繊大)

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