Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[23Dp] セッション19 非中性・成膜

2017年11月23日(木) 16:15 〜 18:55 D会場 (5F 503)

座長:山田 英明(産総研)

18:15 〜 18:35

[23Dp-06] ショットブラスト前処理による窒化拡散速度の向上

*園部 聡士1、半田 祥樹1、アブラハ ペトロス1 (1. 名城大理工)

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