[23Ea] セッション16 大気圧・新応用

[23Ea-02] ループ型誘導熱プラズマを用いた2次元高速酸化における基板上プラズマへのAr/O₂ガス直接吹き付け効果

*土谷 拓光¹、藤田 敦士¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、石島 達夫¹、幸本 徹哉²、川浦 廣² (1. 金沢大、2. CVR)