Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[23Ga] セッション17 材料・ナノテク

2017年11月23日(木) 09:00 〜 11:30 G会場 (7F 702)

座長:梶田 信(名大)

10:20 〜 10:40

[23Ga-05] 純金属におけるスパッタリング収率の結晶方位依存性

*平井 大陽1、長崎 正雅1、吉野 正人1、山田 智明1 (1. 名大院工)

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