Plasma Conference 2017

講演情報

ポスター発表

[23P] ポスター3

2017年11月23日(木) 14:00 〜 16:00 ポスター会場 (1F 展示場)

14:00 〜 16:00

[23P-85] 直流およびVHF重畳直流マグネトロンプラズマにおける高エネルギー酸素負イオンに起因する指向性熱フラックスの測定

*宇田川 洸1、鈴木 陽香1、豊田 浩孝1 (1. 名大工)

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