Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[24Da] セッション24 非中性・成膜

2017年11月24日(金) 09:00 〜 11:30 D会場 (5F 503)

座長:比村 治彦(京都工繊大)

10:30 〜 10:50

[24Da-05] イメージセンサを用いたミー散乱エリプソメトリによるプラズマ中微粒子の粒径空間分布解析

*林 康明1、藤田 佑也1、三瓶 明希夫1 (1. 京都工繊大)

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