スケジュール 1 14:00 〜 16:00 [24P-38] 誘導結合プラズマ支援反応性DCパルススパッタリングを用いた窒化アルミニウム薄膜の堆積 *竹中 弘祐1、内田 儀一郎1、節原 裕一1 (1. 阪大接合研) 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証