Plasma Conference 2017

講演情報

ポスター発表

[24P] ポスター4

2017年11月24日(金) 14:00 〜 16:00 ポスター会場 (1F 展示場)

14:00 〜 16:00

[24P-40] マイクロ波プラズマ処理した酸素終端Si表面におけるアルカリ金属吸着原子の熱的安定性の評価

*鈴木 淳平1、荻野 明久1 (1. 静大院工)

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