[24P] ポスター4

[24P-52] マグネトロンスパッタ法によるSi(111)基板上への高品質ZnO膜の作製：窒素添加バッファー層の効果

*岩崎 和也¹、呂 佳豪¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1. 九大シス情)