Poster session 2

[P-194T] 表面部分窒化無酸素無炭素Ti蒸着膜の排気速度測定と放射光ビームラインへの応用

*takashi kikuchi¹, kataoka ryoma¹, tanaka hirokazu¹, wakabayashi daisuke^1,2, takuji ohigashi^1,2, nitani hiroaki^1,2, uezono namiki³, sakurai takeaki³, mase kazuhiko^1,2 (1. KEK物構研PF, 2. 総研大, 3. 筑波大)