マイクロ・ナノ

[B-218] バイオミメティクスを指向した高アスペクト比微細構造金型作製と樹脂への形状転写

*矢作 徹¹、山田 直也¹、サモリ　 ペトルス　ヤサヤ²、石井 大佑³、齋藤 潤一²、三澤 孝夫² (1. 山形県工業技術センター、2. スズキハイテック（株）、3. 名工大院工)

キーワード：MEMS技術、バイオミメティクス、高アスペクト比構造