セッション情報

Oral Session

Plenary Session

[1] Plenary

2023年6月11日(日) 08:50 〜 09:50 Shunjyu I (Shunjyu I)

Chair:Katsuhiro Tomioka(Hokkaido Univ)

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08:50 〜 09:20

[1-01] CMOS Device Scaling by Nanosheet Channel Architectures and New Channel Materials

*Naoto Horiguchi¹ (1. imec (Belgium))

09:20 〜 09:50

[1-02] ALD Nanometer-Thin In2O3 for BEOL Logic, Memory and RF Applications

*Peide Ye¹ (1. Purdue University (United States of America))

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