Machine Learning-based Accurate Single Wafer Wet Etching Amount Prediction

講演情報

Oral Session

Neuromorphic/AI Circuit Applications

2023年6月11日(日) 09:50 〜 10:50 Shunjyu I (Shunjyu I)

Chair:Woo Young Choi(Seoul National University)

10:30 〜 10:50

*Shinsei Yoshikiyo¹, Hiroshi Horiguchi², Chihiro Matsui¹, Ken Takeuchi¹ (1. Univ. of Tokyo (Japan), 2. SCREEN Semiconductor Solutions (Japan))

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