15:30 〜 15:50
[5-04] Thermal and Performance Analysis of Back-side Power Delivery Network beyond 3nm Technology Node
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Oral Session
Si Nanoelectronics & Device Physics
2023年6月11日(日) 14:30 〜 16:30 Shunjyu I (Shunjyu I)
Chair:Masaharu Kobayashi(Univ. of Tokyo), Peide Ye(Purdue Univ)
15:30 〜 15:50
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