An Enhanced AC Conductance Method with Source/Drain Resistance Correction for Self-Heating Effects of Novel Nano-Scaled Devices

講演情報

Oral Session

Si Nanoelectronics & Device Physics

2023年6月12日(月) 08:50 〜 10:40 Shunjyu I (Shunjyu I)

Chair:Takahide Oya(Yokohama National Univ.)

09:40 〜 10:00

*Jyun-Yan Kuo¹, Wei Lee¹, Ke-Wei Su¹, Chung-Kai Lin¹ (1. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (Taiwan))

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